Journal of Vacuum Science and Technology B:Nanotechnology and Microelectronics

期刊全称Journal of Vacuum Science and Technology B:Nanotechnology and Microelectronics
涉及主题物理材料科学量子力学化学有机化学纳米技术工程类光电子学复合材料光学电气工程图层(电子)冶金生物化学工程计算机科学核物理学热力学医学凝聚态物理病理色谱法地质学物理化学环境化学分析化学(期刊)替代医学制作数学
期刊ISSNprint: 2166-2746
历年影响因子
2024年 2023年 2022年 2021年 2020年 2019年 2018年 2017年
1.50000000
历年发表/被引量
年份20252024202320222021202020192018201720162015201420132012
发表量99187189161155200244211243303269296301359
被引量11453029334832933720349934383044316330662722259021281651
h-Index0
自引率N.A.
涉及的研究领域Materials Science-Materials Chemistry
中科院2025年分区 ?
大类小类TOP期刊综述期刊
4区4区 工程:电子与电气
4区纳米科技
4区物理:应用
WOS期刊分区

JCR学科分类

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JCI学科分类

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期刊主页http://scitation.aip.org/content/avs/journal/jvst
出版商AVS Science and Technology Society
Gold OA文章占比0.00%
原创研究文献占比
(排除综述)
0.00%
SCI收录类型

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PubMed链接http://www.ncbi.nlm.nih.gov/nlmcatalog?term=2166-2746%5BISSN%5D
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