Abstract
In the original publication [...].
Correction: Ye, G.; Yao, Z. Research on the Trajectory and Relative Speed of a Single-Sided Chemical Mechanical Polishing Machine. Micromachines 2025, 16, 450
更正：叶刚；姚志. 单面化学机械抛光机轨迹及相对速度的研究. 微机械 2025, 16, 450
阅读：2
| 期刊： | Micromachines | 影响因子： | 3.000 |
| 时间： | 2026 | 起止号： | 2026 Jan 26;17(2) |
| doi： | 10.3390/mi17020160 | ||
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