Abstract
Discovered by Li and Bohn in 2000 [1], Metal Assisted Chemical Etching has been finally recognized as an emerging etching technology.[...].
Editorial for the Special Issue on Micro- and Nano-Fabrication by Metal Assisted Chemical Etching
金属辅助化学蚀刻微纳加工特刊社论
阅读：1
| 期刊： | Micromachines | 影响因子： | 3.000 |
| 时间： | 2020 | 起止号： | 2020 Oct 31;11(11) |
| doi： | 10.3390/mi11110988 | ||
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