Heteroepitaxial 3C-SiC for MEMS Applications
用于微机电系统的异质外延3C-SiC
期刊:Journal of Personalized Medicine
影响因子:3
doi:10.3390/jpm16040222
Duarte-Medrano, Gilberto; Nuño-Lámbarri, Natalia; Gonzalez-Chon, Octavio; Elguezabal Rodelo, Rebeca Garazi; Calvagna, Carmelo; Paternò, Daniele; La Via, Luigi; Sorbello, Massimiliano; da Trindade, Lucileno Rodrigues; Baião, Diego dos Santos; da Silva, Davi Vieira Teixeira; Pauli, Fernanda Petzold; Paschoalin, Vania Margaret Flosi; Garofalo, Angela; Muoio, Annamaria; Belsito, Luca; Sapienza, Sergio; Ferri, Matteo; Roncaglia, Alberto; La Via, Francesco
