Tailoring Nickel Oxide Thin Films: Comparative Study of Oxidizing Agents in Thermal and Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition
镍氧化物薄膜的调控：热原子层沉积和等离子体增强原子层沉积中氧化剂的比较研究
期刊:ACS Omega
影响因子:4.3
doi:10.1021/acsomega.4c06606
Hidrogo-Rico, Mario Alberto; Nedev, Nicola; Horley, Paul; Mendívil, María Isabel; Castillo-Saenz, Jhonathan; Martínez-Guerra, Edgar; Juarez-Perez, Emilio J; Aguirre-Tostado, Francisco Servando; Susarrey-Arce, Arturo; Martínez-Guerra, Eduardo
