Optimal Design of Electromagnetically Actuated MEMS Cantilevers
电磁驱动MEMS悬臂梁的优化设计
期刊:Sensors
影响因子:3.5
doi:10.3390/s18082533
Di Barba, Paolo; Gotszalk, Teodor; Majstrzyk, Wojciech; Mognaschi, Maria Evelina; Orłowska, Karolina; Wiak, Sławomir; Sierakowski, Andrzej