Effects of High-Temperature Treatments in Inert Atmosphere on 4H-SiC Substrates and Epitaxial Layers
惰性气氛下高温处理对4H-SiC衬底和外延层的影响
期刊:Materials
影响因子:3.2
doi:10.3390/ma17235761
Migliore, Francesca; Cannas, Marco; Gelardi, Franco Mario; Pasquali, Filippo; Brischetto, Andrea; Vecchio, Daniele; Pirnaci, Massimo Davide; Agnello, Simonpietro
