Instable Microdeformation and Strain Recovery in Amorphous LiPON Thin Layer
非晶态LiPON薄层中的不稳定微变形和应变恢复
期刊:ACS Omega
影响因子:4.3
doi:10.1021/acsomega.4c07378
Ugi, Dávid; Musza, Alexandra; Groma, István; Glenneberg, Jens; Schwenzel, Julian; Ispánovity, Péter Dusán; Kun, Robert
