日期 影响因子
日期:
2020 年 — 2026 年
2020
2021
2022
2023
2024
2025
2026
影响因子:
–

Optical Characterization in Microelectronics Manufacturing

微电子制造中的光学表征

期刊:Journal of Research of the National Institute of Standards and Technology
影响因子:1.3
doi:10.6028/jres.099.058
Perkowitz, S; Seiler, D G; Duncan, W M
发表日期：1994
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