Spiral-Shaped Piezoelectric MEMS Cantilever Array for Fully Implantable Hearing Systems
用于全植入式听力系统的螺旋形压电MEMS悬臂梁阵列
期刊:Micromachines
影响因子:3
doi:10.3390/mi8100311
Udvardi, Péter; Radó, János; Straszner, András; Ferencz, János; Hajnal, Zoltán; Soleimani, Saeedeh; Schneider, Michael; Schmid, Ulrich; Révész, Péter; Volk, János