Dielectric barrier discharge plasma treatment of modified SU-8 for biosensing applications

用于生物传感应用的改性SU-8的介质阻挡放电等离子体处理

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Abstract

In this work we demonstrate the use of a dielectric barrier discharge plasma for the treatment of SU-8. The resulting hydrophilic surface displays a 5° contact angle and (0.40 ± 0.012) nm roughness. Using this technique we also present a proof of concept of IgG and prostate specific antigen biodetection on a thin layer of SU-8 over gold via surface plasmon resonance detection.

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